Analýza ultratenkých vrstev

Analýza tenkých vrstev

U ultratenkých vrstev na waferech z monokrystalického křemíku může metoda zeslabené úplné reflexe (ATR) výrazně zvýšit citlivost u vyšetřované vrstvy a může být cenným příslušenstvím zejména v oblasti výzkumu a vývoje.
BRUKER nabízí nepřeberné množství dedikovaného příslušenství pro tyto analýzy. Díky tomu je možné měřit až monovrstvy, případně lze pomocí FTIR mikroskopie sledovat i distribuci těchto vrstev v prostoru.

Neváhejte nás kontaktovat v za účelem nalezení nejvhodnějšího přístrojového řešení pro Vaše analýzy.