Kontrola kvality křemíku
FTIR spektroskopie je standartní metodou pro nedestruktivní charakterizaci křemíkových waferů dle norem SEMI, ASTM a ISO. Používá se pro následující aplikace:
- průmyslová kontrola kvality křemíku
- analýza obsahu uhlíku a kyslíku při pokojové teplotě (ASTM F1188, ASTM F1391 s DIN 50438)
- měření tloušťky oxidových vrstev na Si waferech s mapováním (speciální příslušenství do našich spektrometrů MapIR 3000)
- měření povrchových nečistot jako jsou bór a fosfor pomocí transmise a fotoluminiscence (PL) při nízké teplotě (ASTM F1630, SEMI MF1630 případně ASTM F1723 s SEMI MF1723)
- pokročilý výzkum a vývoj polovodičových materiálů
Ramanova spektroskopie je ideální metodou pro charakteristiku krystalických /amorfních fází tenkovrstvých solárních článků.
